1.  壓縮空氣凈化系統AC
空壓機提供的壓縮空氣通常含有油水，油水會降低碳分子篩的吸附能力，所以壓縮空氣在進入氮氧分離系統之前必須去除油水。首先由空壓機將空氣壓縮至0.75-0.9MPa進入空氣凈化裝置，由管道過濾器除去大部分水、油和雜質，然后由冷凍式干燥機除水使壓力露點達到2℃-10℃，再次經精過濾器、超精過濾器、活性炭除油器，得到壓力為0.75-0.9MPa、壓力露點為2℃-10℃、含油量≤0.01PPm的潔凈壓縮空氣。
壓縮空氣凈化系統AC由冷凍干燥機、精過濾器、超精過濾器、活性炭除油器、自動排污閥、球閥等組成。

2.  空氣儲罐系統CG
空氣儲罐系統的作用在保證供氣源平穩，在氮氧分離系統切換時防止瞬間氣流流速過快，影響空氣凈化效果，提高進入吸附器的壓縮空氣品質，有利于延長分子篩的壽命。
空氣儲罐系統CG由空氣儲罐、安全閥、截止閥、壓力表等組成。

3.  氮氧分離系統NGN
氧氮分離系統是空氣分離的核心部分，其主體是兩個裝滿碳分子篩的吸附塔，當潔凈壓縮空氣進入一吸附塔時，O2、CO2和微量H2O被碳分子篩吸附，氮氣從出口端輸出。當一塔在吸附制氮時，另一塔通過減壓使吸附在分子篩中的O2、CO2和H2O從微孔中排出，實現分子篩的再生脫附。兩塔交替進行吸附和再生，連續輸出氮氣。
氧氮分離系統由吸附塔、塔內裝填的碳分子篩、氣動閥、消聲器、節流閥、壓緊氣缸、壓力表等組成。

4.  氮氣緩沖系統NT
氮氣緩沖系統主要作用在于均衡從氮氧分離系統分離出來的氮氣壓力和純度，保證連續供給氮氣。同時，在吸附塔進行再生到吸附切換時，它將存儲的部分合格氮氣回充吸附塔保護床層，另外也有幫助吸附塔升壓的作用。
氮氣緩沖系統由緩沖罐、流量計、粉塵過濾器、調壓閥、節流閥、安全閥等組成。